陈莉
【姓名】 陈莉
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光刻伺服,圆光栅,位置传感,莫尔条纹,定位系统,两级定位,位置传感器,光栅,音圈电机,电致伸缩陶瓷,暗条纹,道密度,磁盘道,光敏三极管,感器,栅距,取数臂,智敏,执行机构,检测电路,
【工作单位】 华中理工大学
【曾工作单位】 华中理工大学;
【所在地域】
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[1]袁智敏,张江陵,李从信,陈莉.光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器设计[J]大庆石油学院学报.1995,(02)
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