李茂林
【姓名】 李茂林
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 探针诊断,等离子体参数,真空电弧沉积,Ti薄膜,静电探针,探针,波形发生,探针电流,等离子体特性,探针测量,启动电路,扫描电压,电子温度,电子密度,锯齿波电压,等离子体,测量系统,Langm,伏安特性...
【工作单位】 华中理工大学
【曾工作单位】 华中理工大学;
【所在地域】 武汉市
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[1]王浩,李茂林,邹积岩.真空电弧沉积Ti薄膜过程的静电探针诊断[J]微细加工技术.1993,(04)
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