熊韬
【姓名】 熊韬
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;自动化技术;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 VO_2薄膜,刻蚀,封装,湿度,光刻,相变,离子束,MEMS,溅射,VO_2,膜的制备,湿度传感器,封装测试,VO2薄膜,氧化钒薄膜,相变型,气密性,透射电子,微型,电阻温度系数,梳状结构,掩模版,样...
【工作单位】 华中科技大学
【曾工作单位】 华中科技大学;
【所在地域】 湖北武汉
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[1]熊韬,易新建,陈四海,陈明祥,周少波.应用于MEMS气密性封装测试的微型湿度传感器的设计与制作[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[2]周少波,王双保,陈四海,易新建,熊韬.新型VO_2相变薄膜的制备[J]微纳电子技术.2004,(09)
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中国优秀硕士学位论文全文数据库    共找到1篇
[1]熊韬.VO_2薄膜材料制备及其性能测试[D].华中科技大学.2004
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