王敬义
【姓名】 王敬义
【职称】 教授;
【研究领域】 无线电电子学;物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】 等离子体淀积和纯化研究
【发表文献关键词】 宏观粒子,输运模型,纯化模型,等离子体,纯化效果,粉粒,冷等离子体,粉粒沉降,反应溅射,溅射产额,离子能量,靶中毒,反应粒子,溅射,沉降过程,鞘层,产额,表面刻蚀,中性粒子,粒子,靶面,反应室,工艺参...
【工作单位】 华中科技大学
【曾工作单位】 华中科技大学;
【所在地域】 湖北武汉
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中国期刊全文数据库    共找到15篇
[1]尹盛;曹伯承;赵亮;王敬义;.等离子体刻蚀提纯冶金硅研究[J]功能材料.2009,(03)
[2]李战春;王敬义;陶甫廷;冯信华;.圆柱形反应器鞘区离子平均动能的径向分布[J]华中科技大学学报(自然科学版).2006,(05)
[3]许淑慧;王敬义;冯信华;陈正强;.硅粉在鞘区内的纯化速率模型[J]华中科技大学学报(自然科学版).2006,(05)
[4]陈政强;王敬义;陶甫廷;.太阳能级硅粉在等离子体中纯化研究[J]广西工学院学报.2006,(02)
[5]尹盛;王敬义;李战春;张繁;沈亮;赵伯芳;.硅粉在直流氩等离子体中的刻蚀提纯[J]稀有金属材料与工程.2007,(S3)
[6]李战春;尹盛;赵亮;王敬义;.直立平板电极反应室中硅粉粒的表面刻蚀[J]华中科技大学学报(自然科学版).2008,(07)
[7]陶甫廷,王敬义,何笑明,王宇.靶面化合物覆盖度的计算方法研究[J]稀有金属材料与工程.2003,(01)
[8]苏睿,王敬义,许淑慧,陈政强.国家自然科学基金的申请与实施探讨[J]广西工学院学报.2005,(02)
[9]王敬义,尹盛,陶甫廷,吴京波,冯信华,苏睿,许淑慧,陈正强,陈文辉,罗文广.粉体纯化装置及工艺研究[J]稀有金属材料与工程.2005,(10)
[10]陶甫廷;王敬义;冯信华;.圆筒形反应器粉体纯化动力学分析[J]广西工学院学报.2005,(04)
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中国重要会议全文数据库    共找到4篇
[1]尹盛;王敬义;赵亮;赵伯芳;.一种新型反应室的分析与实验[A].第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集（10）.2007-11-01
[2]王家鑫;尹盛;王飞;王敬义;.硅粉在冷等离子体中的刻蚀纯化[A].第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集（2）.2007-11-01
[3]王敬义;尹盛;赵亮;赵伯芳;.冷等离子体中的粉体研究[A].第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集（10）.2007-11-01
[4]赵亮;尹盛;王敬义;赵伯芳;.等离子振动反应室的研究[A].第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集（10）.2007-11-01
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