余洪斌
【姓名】 余洪斌
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;无线电电子学;物理学;
【研究方向】 新型MEMS器件及其相关加工工艺的研究
【发表文献关键词】 变形镜,静电力,体微加工,微镜,反射镜,键合技术,静电驱动,可变形,响应频率,变形反射镜,微变形,MEMS技术,镜面,强度调制,T型梁,相位调制,微机电系统,体硅工艺,自适应光学,微变形反射镜,光学影...
【工作单位】 华中科技大学
【曾工作单位】 华中科技大学;
【所在地域】 湖北武汉
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[1]邵健;李琦;冯楚桓;李威;张欣峰;余洪斌;.MEMS变形镜技术发展探讨[J]海峡科技与产业.2018,(06)
[2]邵健;李琦;余洪斌;.基于AlN的MEMS变形镜仿真及驱动性能研究[J]激光与光电子学进展.2018,(08)
[3]余洪斌;陈海清;刘彦;李俊;.磁驱动MEMS光开关的设计、分析和仿真[J]华中科技大学学报(自然科学版).2006,(04)
[4]李俊;陈海清;任温馨;余洪斌;.自适应光学系统光学部分的计算机模拟[J]光电子·激光.2006,(06)
[5]刘喜斌;余洪斌;方迪;.一种新的Mems变形反射镜主要性能参数测试[J]湖南理工学院学报(自然科学版).2006,(02)
[6]李捷;陈海清;余洪斌;.用于激光二极管抽运固体激光器热畸变补偿的微变形镜特性研究[J]光学学报.2006,(08)
[7]陈劲;陈海清;李俊;余洪斌;.基于MMDM的微小型自适应光学系统实验研究[J]华中科技大学学报(自然科学版).2006,(09)
[8]杨振刚;陈海清;李俊;余洪斌;.基于MEMS技术的自适应光学系统的研究[J]光电工程.2007,(02)
[9]刘喜斌;余洪斌;李俊;陈海清;.一种新型分离式微变形镜的特性分析[J]湖南理工学院学报(自然科学版).2008,(03)
[10]李海华,冯则坤,余洪斌,何华辉.低损耗MnZn铁氧体材料的研究现状及发展趋势[J]硅酸盐通报.2003,(02)
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中国博士学位论文全文数据库    共找到1篇
[1]余洪斌.MEMS-DMs理论设计及工艺研究[D].华中科技大学.2005
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