刘世良
【姓名】 刘世良
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 羰基镍,薄膜,金属有机化学气相沉积(MOCVD),镍膜,沉积速率,沉积温度,金属有机物,化学气相沉积,金属有机物化学气相沉积,金属有机,摩尔分数,玻璃基体,反应室,前驱体,相关因素,铜基体,薄膜形貌,...
【工作单位】 华中科技大学
【曾工作单位】 华中科技大学;
【所在地域】 湖北武汉
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[1]彭冬生,赵立峰,刘世良,谢长生.镍的金属有机化学气相沉积及相关因素的研究[J]金属热处理学报.2003,(01)
[2]刘世良,赵立峰,彭冬生,谢长生.金属有机物化学气相沉积法沉积镍膜的影响因素[J]材料保护.2004,(06)
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