学者知网节

【姓名】	林晓辉
【职称】	副教授;
【研究领域】	无线电电子学;体育;
【研究方向】	高校体育教学与管理研究
【发表文献关键词】	圆片低温键合,表面活化处理,热HNO3,HF,晶圆直接键合,翘曲度,弹性应变能,有限元,仿真结果,红外图像,键合面积,工艺流程,外压力,氧化层,表面粗糙度,拉伸曲线,湿化学法,样片,晶圆表面,硅片,活...
【工作单位】	华中科技大学
【曾工作单位】	华中科技大学;
【所在地域】	武汉

中国期刊全文数据库 共找到5篇

[1]林晓辉;.普通高校学生课外体育活动状况分析[J]体育科技.2006,(01)

[2]马子文;廖广兰;史铁林;汤自荣;聂磊;林晓辉;.表面翘曲度对晶圆直接键合的影响[J]半导体技术.2006,(10)

[3]林晓辉;廖广兰;史铁林;聂磊;.硅片低温键合湿化学法表面活化工艺研究[J]传感技术学报.2006,(05)

[4]彭平;廖广兰;汤自荣;史铁林;林晓辉;刘世元;.基于低温直接键合的血细胞计数芯片结构制备[J]功能材料与器件学报.2008,(06)

[5]林晓辉;史铁林;廖广兰;汤自荣;彭平;王海珊;.紫外光辐射在硅片表面活化键合中的应用[J]功能材料与器件学报.2008,(02)

中国博士学位论文全文数据库 共找到1篇

[1]林晓辉.晶圆低温键合技术及应用研究[D].华中科技大学.2008

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
0/6	4	5	4	34	2108