申喻
【姓名】 申喻
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 超精密,工件台,激光干涉仪,激光测量系统,纳米级,测量精度,运动控制,多自由度,误差补偿,重要保障,测量数据,高速高精,定位系统,定位精度,位置测量,大行程,计数卡,运动精度,系统运用,直接影响,
【工作单位】 华中科技大学
【曾工作单位】 华中科技大学;
【所在地域】 湖北武汉
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[1]周云飞;申喻;于宝成;.超精密工件台多维激光测量系统研究[J]机床与液压.2006,(09)
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