金小兵
【姓名】 金小兵
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 调焦调平,光刻机,激光干涉仪,测量系统,测试平台,硅片,承片台,测量精度,运动控制器,光电探测器,参考面,测量光束,投影物镜,评估依据,工件台,工作环境,数据采集卡,模拟,测量面,运动量,
【工作单位】 华中科技大学
【曾工作单位】 华中科技大学;
【所在地域】 湖北武汉
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[1]金小兵;李小平;陈飞彪;李志丹;肖可云;.硅片调焦调平测量系统测试平台[J]电子工业专用设备.2006,(10)
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[1]金小兵.硅片调焦调平测量系统性能测试方法研究[D].华中科技大学.2007
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