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【姓名】	张茂平
【职称】
【研究领域】	物理学;无线电电子学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】	电子束蒸发镀膜,氮化钛薄膜,顶部感应耦合等离子体源,朗缪尔双探针,反应室,TCP,Langmuir探针,高密度等离子体源,等离子体密度,离子密度,加速栅,离子源辅助,离子源,工作气压,空间分布,静电双...
【工作单位】	华南师范大学
【曾工作单位】	华南师范大学;
【所在地域】	广东广州

中国期刊全文数据库 共找到5篇

[1]符斯列;陈俊芳;吴先球;王宁星;张茂平;胡社军;.Spatial Distribution of ECR Plasma Density in ECR-PECVD Reaction Chamber[J]Plasma Science and Technology.2006,(03)

[2]赖秀琼;陈俊芳;符斯列;李炜;张茂平;史磊;杨春林;.A Study of Diamond-Like Carbon Thin Films Prepared by Microwave Plasma Chemical Vapour Deposition[J]Plasma Science and Technology.2007,(04)

[4]张茂平;陈俊芳;蒙高庆;向鹏飞;史磊;赖秀琼;.离子源辅助法制备TiN及等离子体特性研究[J]华南师范大学学报(自然科学版).2006,(03)

[5]蒙高庆,陈俊芳,向鹏飞,熊予莹,吴先球,符斯列,张茂平.电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间分布[J]华南师范大学学报(自然科学版).2005,(02)

中国优秀硕士学位论文全文数据库 共找到1篇

[1]张茂平.低温等离子体增强电子束蒸发沉积TiN的研究[D].华南师范大学.2007

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