向鹏飞
【姓名】 向鹏飞
【职称】
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 氮化硅,反应室,电子束蒸发镀膜,感应耦合,氮化钛薄膜,顶部感应耦合等离子体源,朗缪尔双探针,TCP,Langmuir探针,高密度等离子体源,等离子体密度,薄膜研究,等离子体技术,硅薄膜,离子密度,氮化...
【工作单位】 华南师范大学
【曾工作单位】 华南师范大学;
【所在地域】 广东广州
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[1]向鹏飞;陈俊芳;蒙高庆;胡社军;吴先球;符斯列;李赟;.等离子体辅助电子枪蒸发制备AlN薄膜及等离子体参数诊断[J]华南师范大学学报(自然科学版).2006,(02)
[2]张茂平;陈俊芳;蒙高庆;向鹏飞;史磊;赖秀琼;.离子源辅助法制备TiN及等离子体特性研究[J]华南师范大学学报(自然科学版).2006,(03)
[3]樊双莉,陈俊芳,吴先球,赵文锋,孙辉,符斯列,向鹏飞,蒙高庆.直管式反应室感应耦合等离子体技术制备氮化硅薄膜研究[J]华南师范大学学报(自然科学版).2004,(04)
[4]蒙高庆,陈俊芳,向鹏飞,熊予莹,吴先球,符斯列,张茂平.电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间分布[J]华南师范大学学报(自然科学版).2005,(02)
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