王卫乡
【姓名】 王卫乡
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 表面平整度,Si_3N_4薄膜,分形,ECR-PECVD,激光诱导,沉积温度,化学气相沉积,铝板,激光合成,分形结构,硅薄膜,增速膜,浅结芯片,强光光学,激光切割,氮化,特性分析,分维,ECR-PEC...
【工作单位】 华南师范大学
【曾工作单位】 华南师范大学;
【所在地域】 广东广州
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[1]张海燕,陈可心,刘颂豪,梁礼正,王卫乡.退火处理对激光诱导化学气相沉积制备纳米硅红外光谱的影响[J]中山大学学报(自然科学版).2000,(S2)
[2]梁礼正,张海燕,何艳阳,陈可心,王卫乡,刘颂豪.制备参数和退火对激光诱导化学汽相沉积合成纳米硅的粒径和红外光谱的影响[J]红外与激光工程.2001,(05)
[3]梁礼正,张海燕,何艳阳,陈可心,王卫乡,刘颂豪.激光诱导化学气相沉积法制备纳米晶硅的制备参数和退火工艺的研究[J]激光杂志.2002,(02)
[4]陈可心,王卫乡,张有,廖健宏.氮化硅陶瓷的激光打孔[J]应用激光.1999,(05)
[5]王卫乡,刘颂豪,梅宴标,廖健宏,陈强,陈可心,张有.激光法纳米硅粉的制备工艺研究[J]应用激光.1995,(01)
[6]王卫乡,刘颂豪.纳米材料的制备研究及其发展动态[J]华南师范大学学报(自然科学版).1995,(01)
[7]王卫乡.LICVD纳米硅和纳米氮化硅的制备、结构与物性研究[J]材料导报.1995,(03)
[8]王卫乡,吉玉泓,梅宴标,刘颂豪,陈俊芳.激光合成硅粉中的分形结构[J]华南理工大学学报(自然科学版).1996,(S1)
[9]陈俊芳,王卫乡,刘颂豪,丁振峰,陶孟仙,任兆杏.氮化硅薄膜表面平整度特性分析[J]华南理工大学学报(自然科学版).1996,(S1)
[10]王卫乡,刘颂豪.激光合成纳米硅的红外光声光谱[J]华南师范大学学报(自然科学版).1996,(01)
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