陈俊芳
【姓名】 陈俊芳
【职称】 教授;
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;无线电电子学;
【研究方向】 等离子体物理、低温等离子体技术纳米材料制备等研究工作
【发表文献关键词】 ECR-PECVD,氮化硅,钝化膜,芯片,电子束蒸发镀膜,反应室,TCP,Langmuir探针,光电子学,高密度等离子体源,等离子体密度,ICP,纳米粉体,高频大功率晶体管,TiAlN涂层,TC11钛...
【工作单位】 华南师范大学
【曾工作单位】 华南师范大学;
【所在地域】 广东广州
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