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徐美根
【姓名】
徐美根
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
热氮化物,雪崩热电子注入,DLTS,界面特性,深能级瞬态谱,界面态,界面态密度,快速热氮化,禁带,SiO_x,俘获截面,DLTS谱,再氧化,能量分布,深能级,价带,峰值温度,MIS结构,蒲生,脉冲电压,
【工作单位】
华南理工大学
【曾工作单位】
华南理工大学;
【所在地域】
广州
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学术成果产出明细表
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共找到1篇
[1]陈蒲生,徐美根,冯文修.
快速热氮化的SiO_xN_Y膜界面特性的DLTS研究
[J]固体电子学研究与进展.1993,(02)
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陈蒲生
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