潘永雄
【姓名】 潘永雄
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光弹,力的测量,扩散层,杂质浓度,杂质原子,硅原子,共价半径,面扩散,硅衬底,硅晶体,双面扩散,红外,磷扩散,光弹性测量,双源,检偏镜,光弹力学,扩散杂质,光弹性,样片,
【工作单位】 华南理工大学
【曾工作单位】 华南理工大学;
【所在地域】
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[1]黄岚，赵寿南，祝忠华，潘永雄.扩散应力的测量及消除[J]华南理工大学学报(自然科学版).1994,(01)
[2]赵寿南;潘永雄;.红外光弹三向进光法研究硅晶片的应力状态[J]华南理工大学学报(自然科学版).1993,(02)
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