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梁胜辉
【姓名】
梁胜辉
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
固相外延,硅单晶,单晶薄膜,NiSi,电子通道花样,晶格完整性,外延单晶薄膜,通道,保护气氛热处理,真空热处理,金属硅化物,氧化层,单晶,真空,保护气氛,电子通道,反射级,热处理,试片,硅化物,
【工作单位】
华南工学院
【曾工作单位】
华南工学院;
【所在地域】
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共找到1篇
[1]李一之,关中凡,黄贤芳,梁胜辉,柯行生,陈文艳,曾绍洪.
用固相外延技术在硅单晶衬底上形成NiSi_2单晶薄膜的研究
[J]半导体技术.1986,(04)
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