王顺
【姓名】 王顺
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 SOI结构,激光退火,中子辐照,单晶硅,再结晶,电子束熔化,三维集成电路,抗辐照,SOI材料,多晶硅,隔离层,绝缘层,激光,表面层,大剂量,功能器件,电路,蓝宝石,应用前景,外延,
【工作单位】 华东师范大学
【曾工作单位】 华东师范大学;
【所在地域】
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[1]王顺,李琼,林成鲁.中子辐照单晶硅与激光退火制备SOI结构的研究[J]中国激光.1988,(11)
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