万培明
【姓名】 万培明
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多晶硅膜,多晶硅薄膜,多晶硅,内应力,测定法,压应力,微桥,微结构,SEM观察,弛豫,牺牲层,未退火,本征应力,晶粒生长,淀积温度,LPCVD,再结晶,纵向应变,云珍,微桥结构,
【工作单位】 华东师范大学
【曾工作单位】 华东师范大学;
【所在地域】
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[1]王云珍,石艳泠,万培明.多晶硅薄膜内应力的SEM测定法[J]传感技术学报.1993,(03)
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