潘尧令
【姓名】 潘尧令
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 掺氧多晶硅,SIPOS,含氧量,掺杂,喇曼光谱,低压化学汽相淀积,微结构,晶粒度,Raman光谱,LPCVD,电导率,氧量,Raman谱,电学特性,退火温度,再结晶过程,晶态,频移,无定形相,电导激活...
【工作单位】 华东师范大学
【曾工作单位】 华东师范大学;
【所在地域】 上海
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[1]王云珍,潘尧令.用Raman光谱研究掺氧多晶硅的微结构[J]半导体学报.1989,(07)
[2]王云珍,潘尧令,刘一彬,宋非迟.半绝缘多晶硅在MOS集成电路上的应用[J]微电子学与计算机.1989,(06)
[3]潘尧令,王云珍,王济身.LPCVD掺氧多晶硅电学特性研究[J]电子科学学刊.1991,(04)
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