李碧洲
【姓名】 李碧洲
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微振子,静电梳,特性,驱动,梳齿,结构和特性,品质因子,电学模型,机械滤波器,微结构,驱动电压,静电力,压点,子工艺,子系,谐振频率,表面微机械,微机械,活动端,掩膜,
【工作单位】 华东师范大学
【曾工作单位】 华东师范大学;
【所在地域】 上海
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[1]李平梁,李碧洲,赖宗声,陆德仁,王添平.静电梳微振子结构和特性研究[J]传感技术学报.1996,(04)
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