何弈骅
【姓名】 何弈骅
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 等离子体气相淀积,介质膜,超大规模集成电路,PETEOS氧化硅,膜的成分,氧化硅,电荷,水分子,等离子体增强,正硅酸,等效电荷,电荷特性,相淀积,淀积工艺,密度区域,乙酯,化学汽,滞后现象,密度,原子...
【工作单位】 华东师范大学
【曾工作单位】 华东师范大学;
【所在地域】
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[1]许春芳，范焕章，何弈骅，王刚宁，翁丽敏.PETEOS氧化硅膜的成分与电荷特性[J]华东师范大学学报(自然科学版).1996,(03)
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