盛明慧
【姓名】 盛明慧
【职称】
【研究领域】 金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 化学气相淀积,氮化钛,反应速率,涂层质量,冷壁反应器,热壁反应器,涂层外观,淀积速率,实验条件,涂层表面,过程控制,显微硬度,工学院,硬质合金刀片,表观活化能,反应温度,淀积过程,金黄色,参数,立式,
【工作单位】 华东化工学院
【曾工作单位】 华东化工学院;
【所在地域】
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[1]丁平,盛明慧,丛德滋,韩杰,陈良恒,袁渭康.立式冷壁反应器中化学气相淀积TiN涂层 Ⅰ.淀积参数对反应速率和涂层质量的影响[J]华东化工学院学报.1990,(03)
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