张振华
【姓名】 张振华
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 类金刚石薄膜,薄膜制备,类金刚石碳膜,应用前景,硬度,薄膜性能,碳氢化合物,机械性能,高频等离子体,膜层,硅衬底,类金刚石膜,沉积速率,光学性能,结构,分析方法,微波等离子体,基片温度,低温低压,声学,
【工作单位】 华北光电技术研究所
【曾工作单位】 华北光电技术研究所;
【所在地域】
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[1]刘胜永,张振华.金刚石薄膜和类金刚石薄膜[J]激光与红外.1991,(05)
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