刘松元
【姓名】 刘松元
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 金刚石薄膜,混合气,甲烷,金刚石,CVD法,衬底温度,石墨腐蚀,石墨,碳氢化合物,气压,氢原子,碳原子,合成金刚石,灯丝,加热反应,低气压,金刚石膜,化学输运法,过饱和度,支架,
【工作单位】 湖南大学
【曾工作单位】 湖南大学;
【所在地域】
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[1]王秀琼,陈本敬,李华,刘松元.甲烷-氢混合气相生长金刚石薄膜[J]物理.1987,(10)
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