张凯
【姓名】 张凯
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;工业通用技术及设备;材料科学;
【研究方向】 压电材料与MEMS器件研究
【发表文献关键词】 频率特性,压电薄膜,体声波谐振器,Mason模型,薄膜体声波谐振器,机电耦合系数,磁控溅射,氮化铝薄膜,c轴择优取向,谐振频率,品质因数,微机电系统,湿法刻蚀,氮化铝,深度刻蚀,择优取向,刻蚀速率,空...
【工作单位】 湖北大学
【曾工作单位】 湖北大学;
【所在地域】 武汉
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