刘岩
【姓名】 刘岩
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微加工技术,微型传感器,流路,PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷),微型全量分析系统(μTAS),磁控射频溅射,微复制工艺,深层刻蚀工艺,氮化硅薄膜,微型机电系统,剥离...
【工作单位】 黑龙江广播电视大学
【曾工作单位】 黑龙江省广播电视大学;
【所在地域】 黑龙江哈尔滨
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[1]金鹏,谭久彬,刘岩.微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术[J]传感器技术.2001,(03)
[2]金鹏,谭久彬,刘岩.PDMS微小流路微加工技术的研究[J]微细加工技术.2001,(03)
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