孟丽娜
【姓名】 孟丽娜
【职称】
【研究领域】 自动化技术;工业通用技术及设备;
【研究方向】 传感技术研究
【发表文献关键词】 微驱动器,钛酸铅薄膜,PZT薄膜,溶胶-凝胶法,MEMS,微机械加工,各向异性刻蚀,工艺研究,刻蚀,压电薄膜,铁电薄膜,薄膜制备,摩尔分数,制备方法,溅射,压电效应,腐蚀速率,关键结构,制备工艺,压电...
【工作单位】 黑龙江大学
【曾工作单位】 黑龙江大学;
【所在地域】 黑龙江哈尔滨
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[1]邱成军;刘红梅;张辉军;赵全亮;孟丽娜;曹茂盛;.溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究[J]材料工程.2007,(08)
[2]邱成军,孟丽娜,刘红梅,曹茂盛.溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究[J]传感器技术.2004,(09)
[3]邱成军,曹茂盛,孟丽娜,刘红梅,张辉军.溶胶-凝胶法制作PZT薄膜微驱动器的工艺研究[J]云南大学学报(自然科学版).2005,(S1)
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[1]孟丽娜.基于MEMS的微驱动器研制及其特性研究[D].黑龙江大学.2005
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[1]孟丽娜;邱成军;左霞;.硅基微结构酞菁锌薄膜气体传感器[A].中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集.2004-07-01
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