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刘军波
【姓名】
刘军波
【职称】
【研究领域】
无机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】
研究,镀硅膜玻璃,化学气相淀积,硅膜,气相淀积法,线化,淀积速率,玻璃基片,玻璃表面,淀积多晶硅,秦皇,扩散速率,玻璃工业,运动速率,气相,反应速率,研究设计,硅烷,表面反应,底面间距,
【工作单位】
河北省秦皇岛玻璃工业研究设计院
【曾工作单位】
河北省秦皇岛玻璃工业研究设计院;
【所在地域】
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[1]汪建勋,李春华,孔繁华,刘军波.
在线化学气相淀积法镀硅膜玻璃的理论研究
[J]玻璃.1996,(04)
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