赵之雯
【姓名】 赵之雯
【职称】 讲师;
【研究领域】 无线电电子学;工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】 半导体工艺的研究
【发表文献关键词】 蓝宝石衬底,分散,渗透,硅片,清洗,抛光表面,机理,硅溶胶,表面活性剂,表面状态,抛光速率,抛光浆料,半导体硅材料,抛光液,低成本,磨片,化学腐蚀,半导体芯片,去除速率,二氧化硅,实验室,硅单晶,加工...
【工作单位】 河北工业大学
【曾工作单位】 河北工业大学;
【所在地域】 天津
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[1]赵之雯;刘玉岭;.高压高功率VHF-PECVD的微晶硅薄膜高速沉积[J]光电子.激光.2011,(05)
[2]赵之雯;刘玉岭;.应用高压高功率的微晶硅薄膜高速沉积[J]光电子.激光.2011,(04)
[3]赵之雯;刘玉岭;.微晶硅薄膜稳定性的研究[J]河北工业大学学报.2011,(02)
[4]赵之雯;刘玉岭;.微晶硅薄膜微结构对稳定性的影响[J]光电子.激光.2011,(09)
[5]张伟;周建伟;刘玉岭;赵之雯;张进;杨玉楼;.氢化非晶硅薄膜H含量控制研究进展[J]微纳电子技术.2009,(11)
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[7]赵之雯;牛新环;檀柏梅;袁育杰;刘玉岭;.蓝宝石衬底材料CMP抛光工艺研究[J]微纳电子技术.2006,(01)
[8]刘玉岭,檀柏梅,赵之雯,郝子宇.表面活性剂在半导体硅材料加工技术中的应用[J]河北工业大学学报.2004,(02)
[9]王娟,檀柏梅,赵之雯,李薇薇,周建伟.蓝宝石衬底片的抛光研究[J]电子工艺技术.2005,(04)
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[1]檀柏梅;刘玉岭;赵之雯;郝子宇;周建伟;王胜利;.专用复合型表面活性剂在微电子技术中的应用[A].电子专用化学品高新技术与市场研讨会论文集.2004-01-01
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