张德臣
【姓名】 张德臣
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅,CVD,自掺杂,铜,抛光液,反向补偿,ULSI,键合,机理,锗,滞流层,化学机械抛光,外延自掺杂,外延,CMP抛光液,外延层,本征层,硅键合,石墨基座,杂质浓度,键合强度,杂质,金晶体,气相,石英...
【工作单位】 河北工业大学
【曾工作单位】 河北工业大学;
【所在地域】 天津
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/3 3 1 0 36 535
中国期刊全文数据库    共找到3篇
[1]刘玉岭,王新,张文智,徐晓辉,张德臣,张志花.硅/硅键合新方法的研究[J]稀有金属.2000,(01)
[2]王弘英,刘玉岭,张德臣.适于ULSI的一种新的铜的CMP抛光液[J]半导体学报.2002,(02)
[3]刘玉岭,金杰,徐晓辉,张德臣.硅CVD外延自掺杂效应的分析研究[J]电子科学学刊.1996,(03)
更多