檀柏梅
【姓名】 檀柏梅
【职称】 教授;
【研究领域】 无线电电子学;金属学及金属工艺;材料科学;
【研究方向】 微电子技术与材料的研究
【发表文献关键词】 清洗,兆声清洗,抛光液,渗透,硅片,分散,表面活性剂,阻挡层,多层布线,化学机械抛光,清洗技术,抛光速率,子工艺,ULSI,微电子,研磨料,CMP抛光液,硅溶胶,微电,激光清洗,半导体硅材料,擦洗法,...
【工作单位】 河北工业大学
【曾工作单位】 河北工业大学;
【所在地域】 天津
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