贾英茜
【姓名】 贾英茜
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;电力工业;
【研究方向】 大规模集成电路多层布线化学机械抛光的研究
【发表文献关键词】 化学机械抛光,抛光液,多层互连,二氧化硅,铜,钨,甚大规模集成,铜布线,平坦化,硼酸锂铯,潮解,有机溶剂,抛光速率,影响因素,嵌入式工艺,低k介质,铜电镀,互连工艺,大规模集成电路,表面状态,SiO2...
【工作单位】 河北工业大学
【曾工作单位】 河北工业大学;
【所在地域】 天津
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/14 8 1 6 113 3981
中国期刊全文数据库    共找到14篇
[1]王立发;杨瑞霞;吴景峰;贾英茜;.宽带pin二极管单刀双掷开关的设计与实现[J]半导体技术.2011,(03)
[2]贾英茜;徐淑壹;赵正平;.微机械圆盘谐振器的仿真分析及等效电路[J]微纳电子技术.2011,(04)
[3]贾英茜;赵正平;杨拥军;王立发;.基于微机械圆盘谐振器的振荡器[J]微纳电子技术.2011,(06)
[4]韩力英;牛新环;贾英茜;刘玉岭;.GLSI多层布线钨插塞CMP表面质量的影响因素分析[J]微电子学.2011,(03)
[5]贾英茜;赵正平;杨拥军;胡晓东;李倩;.SOI-based radial-contour-mode micromechanical disk resonator[J]半导体学报.2011,(11)
[6]贾英茜;赵正平;杨拥军;王立发;.电容式RF MEMS谐振器[J]微纳电子技术.2010,(02)
[7]贾英茜;刘玉岭;牛新环;刘博;孙鸣;.ULSI多层互连中的化学机械抛光工艺[J]微纳电子技术.2006,(08)
[8]刘博;刘玉岭;孙鸣;贾英茜;刘长宇;.ULSI多层铜布线CMP影响因素分析研究[J]微纳电子技术.2006,(09)
[9]孙鸣;刘玉岭;刘博;贾英茜;.低k介质与铜互连集成工艺[J]微纳电子技术.2006,(10)
[10]武晓玲;刘玉岭;贾英茜;鲍云英;.CLBO晶体化学机械抛光技术的研究[J]微纳电子技术.2006,(10)
更多