邢哲
【姓名】 邢哲
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 微电子技术与材料方面研究
【发表文献关键词】 抛光液,多层布线,阻挡层,化学机械抛光,抛光速率,CMP抛光液,ULSI,选择性,铜布线,氧化剂,全局平面化,抛光,钝化层,碱性抛光液,氧化层,去除速率,pH值,两步抛光,光设备,河北工业大学,化学作...
【工作单位】 河北工业大学
【曾工作单位】 河北工业大学;
【所在地域】 天津
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[1]刘玉岭,邢哲,檀柏梅,王新,李薇薇.ULSI多层铜布线钽阻挡层及其CMP抛光液的优化[J]半导体技术.2004,(07)
[2]邢哲,刘玉岭,檀柏梅,王新,李薇薇.ULSI铜多层布线中钽阻挡层CMP抛光液的研究与优化[J]半导体学报.2004,(12)
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