刘博
【姓名】 刘博
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;建筑科学与工程;环境科学与资源利用;
【研究方向】
【发表文献关键词】 化学机械抛光,抛光液,多层互连,二氧化硅,铜,钨,甚大规模集成,铜布线,平坦化,抛光速率,嵌入式工艺,低k介质,铜电镀,影响因素,去除速率,铜互连线,SiO2介质,碟形坑,互连工艺,大规模集成电路,表...
【工作单位】 河北工业大学
【曾工作单位】 河北工业大学;
【所在地域】 天津
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