连军
【姓名】 连军
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 全局平面化,化学机械抛光,多层布线,超大规模集成电路,抛光液,抛光速率,ULSI,二氧化硅,化学机械,磨料,去除速率,抛光,氧化层,光过程,机械作用,氧化硅,抛光机理,层间介质,polis,抛光浆料,
【工作单位】 河北工业大学
【曾工作单位】 河北工业大学;
【所在地域】 天津
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[1]檀柏梅,刘玉岭,连军.ULSI制备中SiO_2介质的化学机械抛光[J]河北工业大学学报.2001,(03)
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