李志
【姓名】 李志
【职称】
【研究领域】 公路与水路运输;汽车工业;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 化学机械抛光,全局平面化,ULSI,多层布线,抛光液,抛光速率,氧化硅,二氧化硅,白炭黑,硅溶胶,醇胺,气相,粒径,河北工业大学,抛光,磨料粒,无划伤,沉淀白炭黑,原硅酸,化学作用,
【工作单位】 河北工业大学
【曾工作单位】 河北工业大学;
【所在地域】 天津
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[1]刘玉岭,檀柏梅,李志,刘立威.ULSI制备中氧化硅介质化学机械抛光的研究[J]稀有金属.2000,(06)
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