李薇薇
【姓名】 李薇薇
【职称】 副教授;
【研究领域】 无线电电子学;电信技术;计算机硬件技术;
【研究方向】 集成电路加工工艺、半导体材料与技术方面的研究
【发表文献关键词】 兆声清洗,清洗,碱性抛光液,CMP,应力,抛光液,水溶胶,阻挡层,多层布线,抛光速率,清洗技术,化学机械抛光,子工艺,表面活性剂,微电子,ULSI,清洗剂,微电,CMP抛光液,激光清洗,擦洗法,抛光技...
【工作单位】 河北工业大学
【曾工作单位】 河北工业大学;
【所在地域】 天津
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