狄卫国
【姓名】 狄卫国
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;计算机硬件技术;
【研究方向】 集成电路与半导体技术及相关材料的研究
【发表文献关键词】 电池,AT89C52,抛光液,硅片,ULSI,化学机械抛光,自动检测,抛光速率,数字滤波,精抛,MAX197,四参数,AT89C5,化学机械,抛光,抛光技术,抛光垫,自动检测系统,抛光雾,硅衬底,抛光...
【工作单位】 河北工业大学
【曾工作单位】 河北工业大学;
【所在地域】 天津
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[1]杨明,高占凤,狄卫国,孙会来.基于AT89C52的电池四参数自动检测系统设计[J]现代电子技术.2003,(02)
[2]狄卫国,刘玉岭,司田华.ULSI硅衬底的化学机械抛光技术[J]半导体技术.2002,(07)
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