王玉琪
【姓名】 王玉琪
【职称】
【研究领域】 物理学;矿业工程;工业经济;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅薄膜,横向激励,CO_2激光器,气压,工作特性,输出能量,高气压,化学气相沉积,激光,配气比,粗视结构,脉冲,河北大学,反应室,电源电压,激光器,真空预热,物理系,小孔耦合,多横模,电极间距,充气系...
【工作单位】 河北大学
【曾工作单位】 河北大学;
【所在地域】
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[1]陈万湘,王入更,薛春银,王玉琪.激光预热基片化学气相沉积硅薄膜[J]中国激光.1983,(12)
[2]付广生,韩理,李晓苇,王玉琪.无He运转横向激励高气压脉冲CO_2激光器工作特性研究[J]河北大学学报(自然科学版).1984,(01)
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