张书玉
【姓名】 张书玉
【职称】
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 单晶,CZSi,高温压力传感器,CZ法,压力传感器,SOI,灵敏度比,有限元,硅片直接键合,SiO2层,研究现状,各向异性腐蚀,硅单晶,FTIR光谱,单晶硅,晶格常数,红外吸收光谱,红外吸收,输出特性...
【工作单位】 河北工业大学
【曾工作单位】 河北工业大学;
【所在地域】 天津
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[1]张书玉;张维连;索开南;牛新环;张生才;姚素英;.SOI高温压力传感器的研究[J]传感技术学报.2006,(04)
[2]蒋中伟,张维连,牛新环,张书玉.CZSiGe单晶的FTIR光谱研究[J]功能材料与器件学报.2005,(01)
[3]张书玉,张维连,张生才,姚素英.SOI高温压力传感器的研究现状[J]河北工业大学学报.2005,(02)
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[1]张书玉.SOI高温压力传感器的研究[D].河北工业大学.2006
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