刘立威
【姓名】 刘立威
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 化学机械抛光,ULSI,SiO_2,Si,全局平面化,多层布线,抛光速率,抛光液,氧化硅,二氧化硅,白炭黑,硅溶胶,醇胺,抛光浆,气相,温度,河北工业大学,抛光,粒径,化学作用,反应产物,磨料粒,光过...
【工作单位】 河北工业大学
【曾工作单位】 河北工业大学;
【所在地域】 天津
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[1]刘玉岭,蔡冰祁,刘立威.ULSI制备中二氧化硅等介质化学机械抛光的研究[J]半导体技术.2000,(03)
[2]刘玉岭,檀柏梅,李志,刘立威.ULSI制备中氧化硅介质化学机械抛光的研究[J]稀有金属.2000,(06)
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