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李保通
【姓名】
李保通
【职称】
【研究领域】
物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
多晶硅精细线条,A_r~+激光诱导淀积,固态源,激光诱导扩散,多晶硅,激光化学,掺硼,细线条,Ar~+激光,淀积多晶硅,浅结,淀积速率,热扩散,方块电阻,激光,河北大学,结深,激光束斑,硼原子,激光诱...
【工作单位】
河北大学
【曾工作单位】
河北大学;
【所在地域】
学术成果产出统计表
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学术成果产出明细表
中国期刊全文数据库
共找到2篇
[1]王英民,彭英才,李保通.
固态源激光化学掺杂
[J]河北大学学报(自然科学版).1986,(04)
[2]王英民,李星文,李保通,娄建中,彭英才.
Ar~+激光诱导淀积多晶硅精细线条
[J]河北大学学报(自然科学版).1992,(01)
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