阎正卯
【姓名】 阎正卯
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 C_3N_4,等离子体CVD,XeCl准分子,CN薄膜,碳靶,溅射,辉光放电,晶态,C3N4,河北大学,物理系,氯化碳,CN膜,材料生长,辉光放电法,X射线,第一性原理,金刚石,结构成份,基片温度,化...
【工作单位】 河北大学
【曾工作单位】 河北大学;
【所在地域】 保定
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[1]于威,阎正卯,陈艳梅,丁振瑞,韩理,李晓伟,傅广生.XeCl准分子溅射碳靶合成CN薄膜[J]量子电子学报.1998,(01)
[2]傅广生,于威,伍国斌,丁振瑞,阎正卯,陈艳梅.辉光放电等离子体CVD合成晶态C_3N_4材料[J]量子电子学报.1998,(01)
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