薛春银
【姓名】 薛春银
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅薄膜,SiH_4,基片温度,LPCVD,化学气相沉积,激光,硅膜,激光等离子体,动力学过程,气压,河北大学,激波,击穿区,粗视结构,激光电源,爆炸波,反应室,样品气,物理系,真空预热,激光淀积,激光...
【工作单位】 河北大学
【曾工作单位】 河北大学;
【所在地域】
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[1]付广生;韩理;李晓苇;吕福润;薛春银;.TEA CO_2激光淀积硅薄膜研究 Ⅰ,SiH_4分解[J]光电子.激光.1985,(06)
[2]陈万湘,王入更,薛春银,王玉琪.激光预热基片化学气相沉积硅薄膜[J]中国激光.1983,(12)
[3]傅广生,李晓苇,韩理,张连水,董丽芳,吕福润,薛春银.OLD诊断SiH_4的LPCVD动力学过程[J]中国激光.1987,(11)
[4]傅广生,韩理,李晓苇,张连水,董丽芳,吕福润,薛春银.激光等离子体淀积硅膜[J]物理学报.1987,(03)
[5]傅广生,李晓苇,韩理,张连水,董丽芳,吕福润,薛春银.OLD诊断SiH_4的LPCVD动力学过程[J]量子电子学.1987,(01)
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