刘洪庆
【姓名】 刘洪庆
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅薄膜,硅烷,激光,激光功率密度,压强,气压,激光离解,加热作用,单晶硅基片,离解极限,吸收长度,反应气体,反应室,选择性激发,薄膜质量,照射时间,转移作用,基片温度,激光器,照射到,
【工作单位】 河北大学
【曾工作单位】 河北大学;
【所在地域】
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[1]吴振球;刘洪庆;陈万湘;.利用激光分解硅烷获得硅薄膜[J]激光与红外.1980,(12)
[2]吴振球,刘洪庆,陈万湘.利用激光分解硅烷获得硅薄膜[J]物理.1981,(09)
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