孙金坛
【姓名】 孙金坛
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 激光退火,离子注入,激光掺杂,激光照射,欧姆接触,吸杂技术,热扩散,激光损伤,硅片,激光,吸杂,电激活,析出物,离子辐射损伤,玻璃激光器,辐射损伤,集成电路,微缺陷,浅结,注入层,激光器,涂层,热退火...
【工作单位】 合肥工业大学
【曾工作单位】 合肥工业大学;
【所在地域】 合肥
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/14 3 0 13 8 591
中国期刊全文数据库    共找到11篇
[1]孙金坛，陈军宁.GaAs　MESFET的压力敏感特性[J]电子学报.1994,(02)
[2]孙金坛,邱德润.AlN-Si_3N_4膜[J]真空科学与技术.1994,(06)
[3]孙金坛，邱德润.氢化非晶碳化硅及其光电特性[J]真空.1994,(01)
[4]孙金坛,程国文,张光荣,王和庆,王爱平,张昌林.激光对硅片掺杂和退火的研究[J]激光.1982,(05)
[5]孙金坛;程国义;张光荣;王和庆;王爱平;张昌林;.激光掺杂和退火的研究[J]应用激光.1982,(04)
[6]孙金坛,程国义,王和庆,张光荣,王爱平,张昌林.离子注入片的激光背面退火[J]半导体技术.1983,(05)
[7]孙金坛,程国义,王和庆.射频离子辐射损伤的激光退火[J]激光杂志.1985,(06)
[8]孙金坛,陈军宁.激光损伤(LID)吸杂技术[J]量子电子学.1985,(01)
[9]王和庆,孙金坛,王爱平.激光外延是制造p-n浅结的一种好方法[J]中国激光.1986,(09)
[10]孙金坛,邹永庆.a-Si:O:H钝化膜[J]半导体技术.1989,(01)
更多
中国重要会议全文数据库    共找到3篇
[1]孙金坛;丁文武;.半导体BaTiO_3PTC陶瓷薄膜的制备[A].首届中国功能材料及其应用学术会议论文集.1992-10-26
[2]孙金坛;邵庆益;蒋阳;.HFCVD法分解含氧丙酮合成金刚石薄膜[A].首届中国功能材料及其应用学术会议论文集.1992-10-26
[3]孙金坛;李垚;.溅射法制作Si_3N_4-AlN陶瓷薄膜材料[A].首届中国功能材料及其应用学术会议论文集.1992-10-26
更多