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程国文
【姓名】
程国文
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
浅结,微波二极管,激光,电激活,激光退火,激光掺杂,表面浓度,表面掺杂浓度,离子注入,晶格损伤,浓度扩散,突变结,散片,方块电阻,高集成度,按比例缩小,涂层,单元尺寸,微细加工,再分布,
【工作单位】
合肥工业大学
【曾工作单位】
合肥工业大学;
【所在地域】
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共找到1篇
[1]孙金坛,程国文,张光荣,王和庆,王爱平,张昌林.
激光对硅片掺杂和退火的研究
[J]激光.1982,(05)
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