李自鹏
【姓名】 李自鹏
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 结构研制,溅射源,磁控,溅射,阴极靶,镀膜,靶材,靶电压,沉积速率,镀膜机,水冷套,靶面,磁路系统,捕集阱,靶材利用率,阳极,正交电磁场,双层辉光,离子渗金属,气体压力,
【工作单位】 合肥工业大学
【曾工作单位】 合肥工业大学;
【所在地域】
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[1]杨占文，李自鹏，刘福侠.S—枪磁控溅射源的研制及其特性[J]真空与低温.1994,(01)
[2]陈立仁;王先路;钱三德;李自鹏;.半导体真空规的进展[J]真空与低温.1985,(02)
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