张宏华
【姓名】 张宏华
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微振动传感器,体硅工艺,感器,振动传感器,哈尔滨工业大学,敏度,抗过载能力,应力值,测量范围,共振频率,哈尔滨,表面工艺,黑龙江,单位面积,梁结构,硅深槽,差分电容,大传感器,合集成,变化量,
【工作单位】 哈尔滨工业大学
【曾工作单位】 哈尔滨工业大学;
【所在地域】 黑龙江哈尔滨
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[1]霍明学,曲凤秋,王喜莲,刘晓为,陈强,陈伟平,张宏华.体硅工艺微振动传感器的研制[J]哈尔滨工业大学学报.2004,(08)
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