谢大纲
【姓名】 谢大纲
【职称】 副教授;
【研究领域】 金属学及金属工艺;机械工业;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 抛光接触区,抛光,气囊,气囊式抛光,三维立体光刻技术,牺牲层工艺,各向异性刻蚀,抛光工具,进动,微机电系统,行器,牺牲层,微飞行器,飞行性能,接触区,充气压力,抛光模,硅晶体,非球面,掩膜,微机械制造...
【工作单位】 哈尔滨工业大学
【曾工作单位】 哈尔滨工业大学;
【所在地域】 黑龙江哈尔滨
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[7]余顺周;姚英学;高波;谢大纲;.气囊式抛光机数控系统的研究与开发[J]制造技术与机床.2007,(02)
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